ASYST RETICLE STOCKER
软件更新,开发新的机器人驱动程序,LoadPort,粒子监控
QUARTET MECHANICS EFEM (for inspection)
开发机器人驱动程序,定位仪,调度器,用户界面,与检测模块/MES握手
QUARTET MECHANICS SORTER
开发自动模拟仿真软件
ASYST RETICLE STOCKER
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QUARTET MECHANICS EFEM (for inspection)
开发机器人驱动程序,定位仪,调度器,用户界面,与检测模块/MES握手
QUARTET MECHANICS SORTER
开发自动模拟仿真软件